國立中興大學校內貴儀 儀器說明會

國立中興大學校內貴儀 儀器說明會

日期：100年9月30日

場發射掃描式電子顯微鏡

場發射掃描式電子顯微鏡（FESEM）儀器廠牌為蔡司ZEISS Ultra Plus熱場場發射掃描式電子顯微鏡，其解析度可達1.0 nm(15 kV)，1.7 nm(1.0 kV)，3.5 nm(0.2 kV)，4.0 nm(0.1 kV)可對材料表面形之顯微組織貌進行精細觀察及亦加裝了X光能量散譜儀(EDS)，可對材料做進一步微區之元素定性與定量分析。

 三次元奈米級拉曼磷光共軛雷射顯鏡

Nanofinder ® 30為一具高感光度與高解析度的三維拉曼顯微影像分析系統，具有可同時擷取三維影像與材料分析之功能。此光學系統建立於共軛焦顯微鏡的基礎上，因同時裝載有光譜分析儀與時間相干單光子偵測器，因此分別於光譜與時間參數上提供分析材料特性之能力。 Nanofinder具三維顯微拉曼散射或螢光影像偵測，拉曼光譜分析，螢光衰減週期(FLIM)分析等能力，可應用於如活體細胞偵測，半導體與半導體裝置材料與應力分析，磊晶薄膜結構與成分分析，以及石墨(硒)/奈米碳管結構分析等多重領域之研究。

可變溫式超高真空掃描探針顯微鏡JSPM-4500VT

JSPM-4500VT 為日本JEOL公司所製造的超高真空可變溫式掃描探針顯微鏡，具有掃描穿隧顯微術與原子力顯微術、磁力顯微術的功能。其超高真空系統可提供 <1x10^-8 Pa的超高真空環境，並具備樣品交換腔體、樣品準備腔體與樣品檢測腔體。此JSPM-4500VT可變溫式超高真空掃描探針顯微鏡，所具有的超高真空樣品製備與量測環境、方便更換樣品與探針的設計、以及大範圍溫度調控的能力，使其可以廣泛應用於奈米科學與半導體相關研究領域之中。

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