稿源：2013-09-12/經濟日報A20/曹松清/論壇
時 間：102年09月10日（二）10:00-12:00
地 點：經濟部標準檢驗局第2會議室（臺北市濟南路1段4號7樓）
主辦單位：經濟部標準檢驗局
執行單位：工業技術研究院
主 持 人：經濟部標準檢驗局局長陳介山
出席專家：台灣鍍膜科技協會秘書長郭俞麟（台科大機械系）、台灣積體電路製造公司副理盧守一
中華映管公司先端技術中心處長黃彥餘、欣興集團執行長室資深特助李金宏
虎門科技公司副總經理廖偉志、國立中興大學精密工程研究所教授林明澤
工研院量測技術發展中心組長彭國勝
薄膜機械性質量測 穩定產品品質
林明澤：目前半導體、光電元件、顯示器、奈米科技與微機電系統等高科技產業迅速的成長，專家們不斷在計畫構圖中增加元件複雜性及微小化，也同時彰顯出微尺度材料結構機械行為重要性。舉例來說，積體電路將微小的不同材料分層安置，然而在製程和使用中內部溫度會不時升高降低，因材料熱膨脹係數不相同，以致造成元件內部產生各種應力，如未妥善控制應力可導致材料失效破壞；此外如積體電路製程中運用之金屬薄膜常被運用為介於絕緣半導體元件之間的電導線，當金屬薄膜尺度微型化時內部電子的流動動量可能移轉傳遞到導體材料的原子核，引起材料內原子的移位，導致材料空洞（Voiding）和變形突起（Hillock）造成失效。目前，防止因材料內原子的移位引起的元件失效是半導體產學界的主要挑戰之一。
奈米科技對現代工業產生極大的影響；因為當材料在微小尺度於奈米範圍內，往往展現出新且從未發現的物理性質。
例如奈米碳管（nanotube）材料輕便且剛度和強度特性極佳，因此透過改變化學組成和晶粒度大小（grain size）將影響不止一種材料特性。對於奈微米材料結構及其機械性質的量測及了解有著迫切的需要。
為建立可靠的元件，能預測這些小的結構體內部材料性質及應力特性的影響是極為需要的。因此，嘗試研發新而在小尺度裡的高準度機械性質量測，仔細檢驗材料微小尺寸規模的機械行為是一具有高技術性門檻、高單價、高附加價值且發展潛力方向的量測科技。
